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少子壽命測試
設備：外延片少子壽命測試儀WT-2000 Wafer Test System
廠商：匈牙利 SEMILAB
用途：1.厚外延少子壽命測試2.SiC電阻率測試
技術指標：少子壽命測試要求外延厚度>30um；規(guī)則樣品寬度>10mm 可以點測或連續(xù)面測
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