設備：半導體參數測試儀、探針臺B1505A、TS2000-HP

廠商：Keysight、MPI

用途：

技術指標：

l  進行寬范圍的電流/電壓測量：達1500A/10KV

l  精確的泄漏電流測量（亞pA能力）

l  精密的導通電阻表征（μΩ分辨率）

l  快至10μs的大功率脈沖測量

l  高壓偏置下的中電流測量能力：500mA@1200V

l  進行高電壓偏置的CV測量

l  最大直流偏置±3000V

l  高功率圓片探測支持，在圓片上進行＞200A和10KV的測試

l  真旋鈕掃描曲線追蹤儀功能

l  支持輸出波形監(jiān)視的示波器觀察（I/V）功能

l  可溯源至國際標準的大電流/電壓測量

l  可擴展的平臺和體系結構，能隨需求變化添加測量能力

l  提供4種測試模式：曲線測試模式、應用測試模式、傳統(tǒng)測試模式和快速測試模式?？蔀橛脩舨煌钠骷y試選擇，以最大程度地提高測量靈活性。

l  模塊化配置，有10個用于支持模塊的插槽

l  多頻電容測量單元（MFCMU），頻率范圍1KHZ至MHZ

l  適用于封裝測試和晶圓測試的標準附件：測試夾塊選擇器具，模和高壓偏置三通

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